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In Frankfurt auf der Cleanzone informieren sich Betreiber von Rein- und Sauberräumen aus allen Industriezweigen über Innovationen in der Reinraumtechnik. Fast jeder dritte Fachbesucher reist aus dem Ausland nach Frankfurt.

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Cleanzone Conference Halle 1 Ebene 2, H22
12:30 — 13:00
20. November '19

Nur ein Hauch – Messung von kondensierbaren Substanzen – Projekt VDI 2083 Blatt 22

Partikel mögen noch nicht „out“ sein, aber der Fokus verlagert sich zunehmend auch auf chemische Reinheit der Reinraumluft, wichtiger noch, der Produktoberflächen. Hierfür reicht die Messung allein der chemischen Reinheit der Luft nicht aus, es bedarf einer Bestimmung der Kondensationsrate. Die Norm ECSS-Q-ST-70-05C aus der Raumfahrt ist nicht empfindlich genug, liefert nur wenige Aussagen und umfasst eine Vielzahl kritischer Schritte vom Probenhandling bis zur Kalibrierung des Messsystems. Im Rahmen des Vortrags wird eine robuste, einfache, dennoch hochsensitive GC/MS-Methode zur Messung von Kondensationsraten luftgetragener organischer Verbindungen vorgestellt, deren Standardisierung in der Reine VDI 2083 ansteht.

Bei vielen Fertigungen, welche eine chemisch reine Umgebung für ihre Produkte benötigen, verlagert sich aktuell der Fokus weg von der Frage: „wie chemisch sauber muss meine Reinraumluft sein (ISO-ACC-Klasse)?“ hin zur Frage „welche maximale chemische Oberflächenkontamination toleriert mein Prozess (ISO-SCC-Klasse)?“

Viele besonders kritische Industriezweige (Halbleiter, Raumfahrt, Optik,…) definieren maximale filmisch-organische Oberflächenkonzentrationen für deren Produkte. Nicht alle luftgetragenen chemischen Verbindungen kondensieren auf Bauteilflächen und führen zu deren Kontamination, sodass eine reine Luftbewertung keine Aussage über das Kontaminationsrisiko zulässt.


Dies erreicht man alleinig durch die Bestimmung einer Kondensationsrate organischer Verbindungen auf Materialoberflächen und nicht durch die chemische Luftreinheit.

Hierzu gibt es eine IR-basierte Raumfahrtnorm ECSS-Q-ST-70-05C, welche aber nicht sensitiv genug ist, qualitativ wenig Aussage zulässt und viele kritische Schritte vom Probenhandling bis zur Kalibrierung des Messsystems beinhaltet.

Im Rahmen des Vortrags wird eine robuste, einfache aber dennoch hochsensitive GC/MS-Methode zur Messung von Kondensationsraten luftgetragener organischer Verbindungen vorgestellt. Aufgrund der Diskussion mit vielen Branchenkennern soll diese Methode im Rahmen der neuen VDI 2083 Blatt 22 standardisiert werden, damit der Leistungsparameter „Kondensationsrate organischer Verbindungen“ für reine Fertigungsumgebungen messtechnisch erfasst werden kann.

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